Etude Du Probleme Inverse En Scatterometrie = Etude Du Probla]me Inverse En Scatteroma(c)Trie

La scatteromtrie est une mthode de mesure non destructive base sur la mesure et l”interprtation des phnomnes de diffraction des structures priodiques. Le traitement des donnes et l”extraction des paramtres gomtriques des structures tudies constituent le problme inverse rsoudre. L”utilisation d”algorithmes de minimisation locale permet d”effectuer l”ajustement des donnes exprimentales sous certaines hypothses statistiques. L”ensemble des tudes thoriques et exprimentales a mis en vidence que la scatteromtrie permet de mesurer les profiles de rseaux mono- et bi-priodiques compatibles avec les spcifications des futures circuits intgrs. Nanmoins, seuls certains paramtres gomtriques de la structure diffractantes sont susceptibles d”tre mesurs dans des conditions exprimentales standard. Cette mthode de mesure apparat aussi tre robuste vis–vis des dfauts et des inhomognits du rseau et est bien corrl avec les mthodes de mesure couramment utilises dans en microlectronique (MEB, AFM). On peut noter que la prcision des indices optiques des matriaux constitue l”une des cls de la fiabilit de la mesure. Richard Quintanilha, docteur-ingnieur en Micro- et Nano-lectronique, tude de physique l’Ecole National Suprieure de Physique de Grenoble et l’Universit Joseph Fourier de Grenoble, chercheur en mtrologie optique au NIST, Gaithersburg, MD USA.