Wirkung Hochenergetischer Strahlung Auf Halbleiterbauelemente (Mikroelektronik)

Mit dem rasch wachsenden Integrationsgrad mikroelektronischer Schaltungen steigt der mgliche Schaden durch hochenergetische Strahlung, insbesondere im Einsatzbereich von Luft- und Raumfahrttechnik, aber auch bei Kernreaktoren, in der Materialforschung und in der medizinischen Diagnostik und Therapie. Das Buch liefert eine fundierte Einfhrung, die von den physikalischen Grundlagen der Wechselwirkung von Strahlung mit Materie, ber die Erklrung von Schdigungsmechanismen bis hin zur Beschreibung von Strahlungsempfindlichkeit reicht. Der starke Einflu der verwendeten Technologie wird ebenso behandelt wie die Mglichkeit der Abschirmung und der Einflu von Strukturverkleinerungen auf die Strahlensensibiltt.